光谱椭偏仪SE-VM型
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武汉颐光科技有限公司
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光谱椭偏仪SE-VM型概述
是一款科研级高精度快速测量光谱椭偏仪,可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。
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高性价比光学椭偏测量解决方案
紧凑集成设计,使用简便,一键快速测量
向导交互式人机界面,便捷的软件操作体验
丰富的材料数据库和算法模型库,强大的数据分析能力
产品特点
采用高强度卤素灯光源,光谱覆盖可见光到近红外范围;
高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集;
支持多角度定制化设计,集成微光斑测量能力,可实现各式基底材料或各待测区域的角度择优测量;
数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料;
软件向导交互式人机界面操作,为用户提供优质的操作体验;
产品应用
SE-VM 型光谱椭偏仪广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析:
技术参数:
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