宽光谱穆勒矩阵椭偏仪ME-L型

 宽光谱穆勒矩阵椭偏仪ME-L型概述 

 产品特点 

• 采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-1700nm)；

  

   

•  可实现穆勒矩阵数据处理，测量信息量更大，测量速度快、数据更加精准；

   

  

   

• 基于双旋转补偿器配置，可一次测量获得全部穆勒矩阵的16个元素，相对传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面的测量信息；

   

  

   

   技术参数：

• 基本功能	一次性获得全穆勒矩阵、椭偏参数、反射率/透射率、退偏度
  光谱范围	193-1700nm
  光谱分辨率	0.5nm
  测量时间	1-8s
  入射角范围	45-90°
  微光斑尺寸	200μm
  重复性测量精度，100nm SiO2硅片（30次测量，1σ）	0.002nm
  精度（直通测量空气）	椭偏参数：Ψ= 45±0.05°，Δ=   0±0.1°
  	穆勒矩阵：对角元素m=1±0.005，非对角元素m=0±0.005
  支持样件zui大尺寸	8寸
  样品台调节	高度：0-20mm（自动）
  	俯仰：±2°
  	XY：±12.5mm
  	Rz：0-360°（粗调） ±5°（精调，分辨率：0.05°）
  软件	多语言界面切换
  	多达数千种的光学材料常数数据库，并支持用户自定义光学材料库
  	提供多层各向同性光学薄膜建模仿真与分析功能
  	提供多层各向异性光学薄膜建模仿真与分析功能
  	提供多层周期性光栅结构建模仿真与分析功能

  仅供参考，详细参数信息请厂家确认