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HORIBA光谱椭偏仪UVISEL 2原理介绍

来源: 天津瑞利光电科技有限公司

2020/8/19 11:43:00 686

产品介绍:
HORIBA Scientific发明了新一代科学光谱椭偏仪,可为纳米和微米层表征提供高水平的性能。UVISEL 2包括广泛的集成自动化功能,可用于调查所有材料系列。UVISEL 2具有样品视觉,并配有自动点选择功能,可准确定位样品上的测量点和区域。
UVISEL 2集成了35μm消色差点,能够覆盖从FUV到NIR的大光谱范围,用于测量非常小的样品区域。在DeltaPsi2软件的驱动下,UVISEL 2操作简单,具有表征所有现有材料以及下一代材料和结构的性能。HORIBA Scientific开始使用经过验证的准确,灵敏的椭偏仪,UVISEL,并重新设计和改进了所有产品,以提供比任何其他仪器更高规格的仪器。
参数:
扫描光谱相位调制椭圆偏振仪:190-880nm
视觉系统:使用椭圆仪头提供样品的实时彩色图像和准确的测量点
计算机控制的微点:
可选择8种不同的光斑尺寸,以适应样品的特征尺寸
消色差微光学镜片,min.35μm
计算机控制的可变角度测角仪:
角度范围35°- 90°
允许可变角度光谱椭圆测量法
电脑控制的200mm x 200mm XYZ: 
用于自动化样本映射
200mm方形样品架,附有2个参考样品
自动Z高度调节:40mm自动对焦
电动样品倾斜校准:通过激光系统对准样品
用于紫外 - 可见范围的双单色器系统:
190nm - 880nm(杂散光抑制<在190nm处0.5%)
双PMT探测器具有高的灵敏度和动态范围
氙气光源:150 W
近红外扩展:至2100 nm
NIR系列的单色器:
880nm - 2100nm
InGaAs探测器
计算机和Delta Psi2软件包:
采集,校准和数据解释
自动校准

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