详细介绍

原位监测椭偏仪IMS型

原位监测椭偏仪IMS型概述：

是在科研级光谱椭偏仪的基础上，根据有机/无机镀膜工艺研究的需要研发的原位薄膜在线监测仪器，可用于金属薄膜、无机薄膜、有机薄膜的蒸镀、溅射等光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测。

特点：

椭偏仪|穆勒矩阵椭偏仪|膜厚仪|椭圆偏振光谱仪|薄膜厚度测量

◇ 基于科研级光谱/穆勒椭偏仪实现对工艺的原位在线监测

产品应用：

原位监测椭偏仪IMS 是应用于可用于金属薄膜、无机薄膜、有机薄膜的蒸镀、溅射等光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测。

椭偏仪|穆勒矩阵椭偏仪|膜厚仪|椭圆偏振光谱仪|薄膜厚度测量

◇ 广泛应用可用于光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测

技术参数：

基本功能	基于科研级光谱椭偏仪，对光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测
光谱范围	245-1000nm（可扩展到1700nm）
测量时间	<1s(光谱型) <5s(穆勒型)
入射角范围	45-90°
光斑尺寸	2-3mm
重复精度	0.05nm（100nm SiO₂/Si）