光谱椭偏仪Mapping系列

     产品特点：

•  采用高强度卤素灯光源，光谱覆盖可见光到近红外范围；

  

•  高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；

  

• 自动Mapping绘制化测量技术 ，实现大尺寸样件全基片自定义快速Mapping测量；

  

•  数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；

  

•  强大软件应用分析能力，针对半导体、集成电路、新型平板显示、薄膜光伏等领域中材料的厚度、光学常数、结构信息等数据通过建模拟合进行全面的快速分析；

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     产品应用 

    Mapping光谱椭偏仪 广泛应用于企业级在线以及离线工艺上，镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析：