SuperView WT3000系列 白光共聚焦轮廓仪

SuperView WT3000系列白光共聚焦轮廓仪融合白光干涉+共聚焦双技术，实现超精密3D形貌测量。设备以高精度、高稳定性、易操作的优势，成为超精密检测场景的选择。

核心参数

1. 双模式高精度：白光干涉模式粗糙度RMS重复性0.005nm、形貌重复性0.1nm；共聚焦模式可测近90°尖锐倾角，台阶测量重复性12nm；

2. 硬件配置：1024×1024黑白影像系统，5孔电动物镜塔台，WT3000 XY行程100×100mm、WT3200达200×200mm，Z轴扫描范围10mm；

3. 稳定防护：气浮隔振底座、镜头双重防撞、光源休眠保护，环境噪声3σ≤4nm，适配VC-C级振动环境；

4. 软件功能：支持自动拼接、编程测量、批量分析，可导出Word/Excel/PDF报表，覆盖300+项检测参数。

WT3000白光共聚焦轮廓仪 助力头部企业超精密检测落地

中图仪器SuperView WT3000系列白光干涉共聚焦轮廓仪，已成功服务半导体、3C电子、光学加工、微纳制造等多领域客户，实测效果获高度认可：

1. 半导体客户：精准检测晶圆减薄粗糙度、镭射槽道轮廓，亚纳米级数据稳定可靠，满足芯片制造严苛标准；

2. 3C电子客户：快速检测手机/平板玻璃屏粗糙度、微观缺陷，非接触式测量无损伤，批量检测效率提升60%；

3. 光学元器件客户：精准测量透镜曲率、轮廓尺寸与表面粗糙度，适配光学镜片加工检测；

4. 微纳/MEMS客户：清晰重构微纳结构3D形貌，精准分析台阶高度与间隙尺寸，匹配微纳加工检测需求。

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注：产品参数与配置以实际交付为准，中图仪器保留根据技术升级调整相关内容的权利，恕不另行通知。