高级会员第 6 年生产厂家
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以白光干涉光学3D测量仪为核心的3D形貌测量方案,兼具高性价比与全流程成本控制优势,且其与共聚焦显微镜组成的显微测量产品线,能为企业提供灵活的采购选择,从单台适配到组合采购,降低企业检测设备投入与使用成本!
1.白光干涉仪聚焦超光滑样品3D形貌测量,纵向0.1nm分辨率的精度无需搭配高倍率物镜即可实现,低倍下仍能保持纳米级测量能力,结合大图无缝拼接功能,大幅提升大面积样品3D形貌检测效率,减少人工成本;
2.设备为一站式3D形貌测量设计,可同步完成粗糙度、台阶高、轮廓尺寸等参数检测,一台替代多款专用纳米级检测设备,无隐形消费,标配核心部件无需额外采购。而显微测量产品线的组合采购模式更具成本优势,企业可根据检测需求,搭配选购白光干涉仪与共聚焦显微镜,享专属组合采购优惠,比单独采购两台设备更划算;
3.若企业有全场景检测需求,直接选购显微产品线中的WT3000二合一机型,可省去两台设备的采购投入,同时节省设备摆放的场地成本,且一次装夹完成全类型样品3D形貌测量,大幅降低人工操作与样品调试成本。

白光干涉光学3D测量仪以硬核技术参数铸就超光滑样品3D形貌测量的纳米级精度,其与共聚焦显微镜组成的显微测量产品线,各展技术优势又形成协同,二合一机型更是实现技术融合,成为超精密制造3D形貌全维度测量的方案!
1.白光干涉仪
· 核心基于光的干涉定位原理,搭载白光LED光源,纵向分辨率高达0.1nm,且该精度不随物镜倍率衰减,低倍物镜下仍能保持纳米级3D形貌测量能力,是大面积超光滑样品检测的核心优势;
· 通过Z向逐层扫描与像素点光强拟合算法,精准锁定零级干涉条纹位置,将其转化为相对高度数据,实现样品3D形貌的高保真重构,可清晰还原Sa0.2nm级别超光滑表面的微观形貌特征,支持大图无缝拼接功能,轻松完成大尺寸样品的全表面3D形貌测量,还配备自动化模块,实现Mark点自动识别、位置纠偏,完成数万个微透镜单元的3D形貌批量检测。
2.共聚焦显微镜
基于共轭共焦技术与针孔滤光设计,结合弱光信号解析算法,对低反射率样品3D形貌测量适配性强,可测倾角达71.8°,能完整重建大陡壁复杂结构的3D形貌,配备真彩相机可输出3D真彩形貌图像,且无需气浮隔振台,抗振性强。
3.WT3000二合一机型(复合式光学3D表面轮廓仪)
将两套光学系统集成于电动机座,通过5孔电动物镜塔台实现一键模式切换,白光模式测超光滑3D形貌,共聚焦模式测复杂结构3D形貌,一次装夹完成全维度测量,两款设备均为光学非接触式无损检测,可测3D形貌、粗糙度、台阶高等核心参数,兼容ISO/ASME等国内外检测标准。
中图仪器整个显微测量仪产品线设备均为光学非接触式设计,核心部件耐用性强,后期维修保养成本低,批量采购还可享定制化报价,实实在在为企业节省全生命周期检测成本。
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