SuperView WT3000系列 白光干涉共聚焦轮廓仪

【全场景适配】SuperView WT3000白光干涉共聚焦轮廓仪 超精密3D形貌检测全覆盖

深圳市中图仪器自研的SuperView WT3000系列白光共聚焦轮廓仪，是亚纳米级非接触式3D检测核心设备，可覆盖全行业超精密加工与科研检测需求。

设备兼容半导体制造/封装、3C电子玻璃屏、光学元器件、微纳材料、MEMS器件、汽车零部件、航空航天、科研院所等全领域场景，可测超光滑→粗糙、低反射→高反射、透明→黑色全类型材质表面，精准输出粗糙度、平整度、微观轮廓、曲率、台阶高度等300+项2D/3D参数，符合ISO/ASME/EUR/GBT四大国际国内标准，一站式解决各类精密器件表面形貌检测难题。

WT3000白光干涉共聚焦轮廓仪 核心技术参数详解

SuperView WT3000系列融合白光干涉+共聚焦双技术，实现超精密3D形貌测量：

1. 双模式高精度：白光干涉模式粗糙度RMS重复性0.005nm、形貌重复性0.1nm；共聚焦模式可测近90°尖锐倾角，台阶测量重复性12nm；

2. 硬件配置：1024×1024黑白影像系统，5孔电动物镜塔台，WT3000 XY行程100×100mm、WT3200达200×200mm，Z轴扫描范围10mm；

3. 稳定防护：气浮隔振底座、镜头双重防撞、光源休眠保护，环境噪声3σ≤4nm，适配VC-C级振动环境；

4. 软件功能：支持自动拼接、编程测量、批量分析，可导出Word/Excel/PDF报表，覆盖300+项检测参数。

如需产品演示视频、行业案例手册或免费样品测试，可联系客服获取。

注：产品参数与配置以实际交付为准，中图仪器保留根据技术升级调整相关内容的权利，恕不另行通知。