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Apollowave MJ-3000 阿波罗 无液氮真空低温探针台系统
面议Apollowave PROBE CARD 阿波罗 高低温大电流及微波探针卡
面议Apollowave a-300CS阿波罗 -60/350度高低温 RF 手动探针台系统
面议Apollowave AP-200 阿波罗微波高功率探针台
面议APOLLOWAVE 阿波罗 桌面型小型0-200度 IV/CV 探针台
面议APOLLOWAVE ProbeCard 功率器件,光伏面板等半导体晶圆级探针卡
面议Apollowave α-100 阿波罗微波4英寸手动探针台
面议APOLLOWAVE α-150 手动探针台 高功率半导体探针台系统
面议Apollowave α-300 阿波罗 微波手动8英吋探针台
面议APOLLOWAVE 4/6/8/12寸载物台(可加热)探针台 高低温超低噪声
面议APOLLOWAVE M40 手动探针台精密 XYZ三轴可调探针座
面议APOLLOWAVE CURRENT PROBE高功率探针台探大电流针卡
面议超小型真空チャンバー
MJ-8Dは、机上での測定を簡便に、安価に行えるよう開発された、超小型真空チャンバーです。重量約4.5Kgと軽く、巾280mm、奥行き244mm、高さ65mm(ゴム足を含む)と非常にコンパクトなため、測定場所を簡単に移動でき、スペースを取らず、どこにでも設置できます。
プローブは、外部より操作のできるポジショナーにより、真空中でもXYZ方向の操作が可能です。本体はシールド効果が高く、光やノイズをシャットアウトし、微小電流の測定に威力を発揮します。シリーズ品として、お客様のニーズに合わせ、光透過型、ステージ可動型、冷・加温、温度コントロール型等、数々の特殊品にも対応いたしておりますのでご相談ください。また、オプション品も多数用意をし、お客様の利便性向上を図っておりますのでご用命ください。
MJ-8D標準型基本仕様
外形寸法、重量 | 280W×244D×65H ※1、約4.5Kg |
チャンバー外形寸法&内容積 | 116φ×35H、0.1L |
ステージ寸法 | 20mm×20mm |
チャンバー内真空度 | 1.333×10-3 Pa(10-5 Torr) ※2 |
チャンバー材質 | アルミニュウム |
外部操作型ポジショナ外形寸法 ※3 | 型式UMC-2P:65W×160L×45H |
粗調 | X:左右各5mm、Y:6mm |
微調 | X:5mm、Y:5mm、Z:3mm |
精密針(タングステン材) | W25-05-10×11/2、先端25μR |
真空引き口 | NW25 |
付帯部品 | メインバルブ:22028-KA01、リーク/ガス置換弁(1/4″) |
※1:高さはゴム足を含む。
※2:真空度は排気装置に依存します。
※3:記載寸法は単体時の寸法です。
※4:プローブホルダー先端、XZ方向の移動量は円弧運動となります。