1 探针台主机：α-100

1.1 适用： 4英寸及以下晶圆或芯片

1.2 X轴： 粗调行程：100mm

粗调方式：自锁式推拉杆

微调行程：13mm

微调方式：千分尺控制

控制分辨率：10um

1.3 Y轴： 粗调行程：120mm

粗调方式：自锁式推拉杆

微调行程：13mm

微调方式：千分尺控制

控制分辨率：10um

1.4 Z轴： 移动量：5mm

粗调行程：5mm，精度：±10%以内

微调行程：0.3mm，精度：±20%以内

1.5 θ轴： 移动量：±10°以上

1.6 平行度： 对载物台 30um以内

1.7 尺寸： 400（W）×360（D）×330（H） 不含突出部

1.8 重量： 约25kg

1.9 真空压 小于-65kPa（用于晶圆吸附）

1.10 压缩空气：0.4-0.5MPa

1.11 使用环境：温度23℃±5℃，湿度20%-80%（无结霜）