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Apollowave MJ-3000 阿波罗 无液氮真空低温探针台系统
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Apollowave MJ-8D 阿波罗8K低温真空物理材料探针台
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Apollowave PROBE CARD 阿波罗 高低温大电流及微波探针卡
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Apollowave a-300CS阿波罗 -60/350度高低温 RF 手动探针台系统
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Apollowave AP-200 阿波罗微波高功率探针台
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APOLLOWAVE 阿波罗 桌面型小型0-200度 IV/CV 探针台
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APOLLOWAVE ProbeCard 功率器件,光伏面板等半导体晶圆级探针卡
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APOLLOWAVE α-150 手动探针台 高功率半导体探针台系统
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APOLLOWAVE 4/6/8/12寸载物台（可加热）探针台 高低温超低噪声
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APOLLOWAVE M40 手动探针台精密 XYZ三轴可调探针座
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APOLLOWAVE CURRENT PROBE高功率探针台探大电流针卡
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APOLLOWAVE M30 手动探针台精密 XYZ三轴可调探针座
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1 探针台主机：α-300
1.1 适用： 12英寸及以下晶圆或芯片
1.2 X轴： 粗调行程：310mm
粗调方式：自锁式推拉杆
微调行程：25mm
微调方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.3 Y轴： 粗调行程：340mm
粗调方式：自锁式推拉杆
微调行程：25mm
微调方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.4 Z轴： 移动量：10mm
粗调行程：5mm，精度：±10%以内
微调行程：0.3mm，精度：±20%以内
1.5 θ轴： 移动量：±8°以上
1.6 平行度： 对载物台 30um以内
1.7 尺寸： 600（W）×600（D）×450（H） 不含突出部
1.8 重量： 约60kg
1.9 真空压 小于-65kPa（用于晶圆吸附）
1.10 压缩空气：0.4-0.5MPa
1.11 使用环境：温度23℃±5℃，湿度20%-80%（无结霜）
1 探针台主机：α-300
1.1 适用： 12英寸及以下晶圆或芯片
1.2 X轴： 粗调行程：310mm
粗调方式：自锁式推拉杆
微调行程：25mm
微调方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.3 Y轴： 粗调行程：340mm
粗调方式：自锁式推拉杆
微调行程：25mm
微调方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.4 Z轴： 移动量：10mm
粗调行程：5mm，精度：±10%以内
微调行程：0.3mm，精度：±20%以内
1.5 θ轴： 移动量：±8°以上
1.6 平行度： 对载物台 30um以内
1.7 尺寸： 600（W）×600（D）×450（H） 不含突出部
1.8 重量： 约60kg
1.9 真空压 小于-65kPa（用于晶圆吸附）
1.10 压缩空气：0.4-0.5MPa
1.11 使用环境：温度23℃±5℃，湿度20%-80%（无结霜）
