1~3维精密微动压电平台 光学表面分析仪

PFV3D70-600U-S1~3维精密微动压电平台 光学表面分析仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-10-05 09:44:47
447
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产地:国产;加工定制:是;适用行业:其他;
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上海纳动纳米位移技术有限公司

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产品简介

1~3维精密微动压电平台内置高性能压电陶瓷作为驱动元件,采用SGS传感器闭环,实现精密高速定位运动,产品结构紧凑,易于集成,采用分离式结构设计,减小了两自由度之间的耦合,采用高可靠性的压电陶瓷驱动,具有较高的重复定位精度和纳米级位移分辨率,机体材料分铝合金,严格保证构结精度;采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;采用*的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力。

详细介绍

   1~3维精密微动压电平台内置高性能压电陶瓷作为驱动元件,采用SGS传感器闭环,实现精密高速定位运动,产品结构紧凑,易于集成,采用分离式结构设计,减小了两自由度之间的耦合,采用高可靠性的压电陶瓷驱动,具有较高的重复定位精度和纳米级位移分辨率,机体材料分铝合金,严格保证构结精度;采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;采用*的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力。 

1~3维精密微动压电平台典型应用
•  显微成像                     •  纳米定位
•  生物技术                     •  半导体技术
•  质量保证测试              •  微车削
•  原子力显微镜

产品特性 
1.采用高性能的压电陶瓷驱动; 
2.具有开环和闭环两种规格型号; 
3.采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度; 
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构; 
5.采用*的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力; 
6.超高性能的开/闭环扫描平台。 

 

型号说明:

产品型号

PK3L60-080U

PK3L60-080U-S

公差

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围(@0~+120V)

80 μm/轴

80 μm/轴

±20%

行程范围(@-20~+150V)

100 μm/轴

100 μm/轴

±20%

分辨率

5 nm

7 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.15% F.S.

typ.

承载能力

6 N

6 N

Max.

刚度

0.8 N/μm

0.8 N/μm

±20%

谐振频率

0g

(X)210 Hz、(Y)210 Hz、

(Z)190 Hz

(X)210 Hz、(Y)210 Hz、

(Z)190 Hz

±20%

静电容量

1.6 μF/轴

1.6 μF/轴

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

外形尺寸(LxH)

60×60×24 mm

60×60×24 mm

-

重量

180 g

180 g

±5%

本体材质2

铝(B)、钢

铝(B)、钢

 

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