1~3维精密微动压电平台内置高性能压电陶瓷作为驱动元件，采用SGS传感器闭环，实现精密高速定位运动，产品结构紧凑，易于集成，采用分离式结构设计，减小了两自由度之间的耦合，采用高可靠性的压电陶瓷驱动，具有较高的重复定位精度和纳米级位移分辨率，机体材料分铝合金，严格保证构结精度;采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；采用*的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力。 

1~3维精密微动压电平台典型应用
•  显微成像                     •  纳米定位
•  生物技术                     •  半导体技术
•  质量保证测试              •  微车削
•  原子力显微镜

■ 产品特性 
1.采用高性能的压电陶瓷驱动; 
2.具有开环和闭环两种规格型号; 
3.采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度; 
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构； 
5.采用*的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力； 
6.超高性能的开/闭环扫描平台。 

型号说明：