超精密压电红外扫描器 内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且*通孔较大，可更好的集成于红外热成像扫描系统中。

应用：

原子力显微镜 高分辨率CCD 三维共焦显微 激光平面干涉 纳米光刻 红外热成像扫描 光纤对接  纳米光刻

超精密压电红外扫描器特点：
1-3维运动

大运动范围370μm

一体式结构设计，多维运动无耦合

大透光孔径35mm

闭环精度可达0.15%F.S.

技术参数：

说明：1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用；*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。