纳米级电容位移传感器是非接触式位置测量系统。该系统由目标和探针两个传感板组成电容器。当电容器之间的距离发生改变时，电容器的电容量就会发生改变，使用适当的控制器就会测出两个传感板距离的变化。

工作原理：

     纳米级电容位移传感器的原理是利用力学变化使电容器中其中的一个参数发生变化的方法实现信号的变化的。电容位移传感器由目标和探针两个传感板组成电容器。当电容器之间的距离发生改变时，电容器的电容量就会发生改变，使用适当的控制器就会测出两个传感板距离的变化。

主要应用
   精密制造、计量、形变测量、平台控制、材料测试、显微镜、能动光学、精密光束控制等。

主要特点
l  大行程（11mm）
l  高分辨率（0.1nm）
l  高热稳定性
l  高直线性（0.02%）
l  零迟滞
l  高频带宽度（10KHz）
l  低功耗
l  操作温度范围大（-200~+150℃）

技术参数
量 程：初始间隙δo与传感器电极板do
分 辨 率：0.01nm 零磁滞
非 线 性：±0.25%FSO
频带可调：50～5000Hz
灵敏度可调：5～125μm/V
输出信号：0—±5.0V
零 漂：≤±0.25%FSO
电 源：±15V
体 积：19cm×12cm×8cm