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1~3维精密压电纳米扫描台采用单片金属体铝合金制成,采用了EDM电线腐蚀和其他精密机械手段构建,纳米扫描台该种设计使得运动有着近*的直线度和平面度，与使用压电陶瓷管的纳米扫描台相比,它具有高机械强度并可球面纳米扫描。
1~3维精密压电纳米扫描台型号说明：
产品型号 | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 80 μm/轴 | 80 μm/轴 | ±20% | |
行程范围（@-20~+150V） | 100 μm/轴 | 100 μm/轴 | ±20% | |
分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
线性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
承载能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
刚度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
谐振频率 | 0g | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | ±20% |
静电容量 | 1.6 μF/轴 | 1.6 μF/轴 | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
本体材质2 | 铝（B）、钢 | 铝（B）、钢 | ||
产品特点：
◆ 超薄的外形尺寸；
◆ 超大行程；
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统，有效消除侧向运动分量；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。
产品规格
XY范围 100x100 µm
zui小扫描步进 0.1 nm
整范围内的角度倾斜 < 0001°
zui大扫描速度 10 Hz（行/秒）
zui大样品重量 100g
谐振频率XY 1 kHz
非线性残余 ≤0.03%
传感器类型 电容传感器
内置TDC（时间数字转换器）位数 24位
