本产品采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了扫描台的运动精度。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。分立的螺纹适配器，可适配多种型号的物镜。产品具有开环与闭环两种版本。闭环采用应变式传感器（SGS），具有分辨率高、响应快，给定目标值到适当的位置，通过对传动纳米测量精度位置反馈信号至控制器。平行四边形的设计保证了较高的平行运动不影响光路。通过使用一个集成的测量系统，可以保证定位的可重复性。包括集成的预加载的致动器的设计提供了高的谐振频率和高的平行运动。由于该系列快速扫描的应用，可以用zui短的时间解决精确实现的*功能。 纳米位移台是一种机械装置，内部有一个或多个压电陶瓷，由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。纳动设计和制造的纳米位移台使用柔性铰链技术将运动装置连接到固定基座上。纳米位移台内置高精密传感器，闭环控制时，传感器技术在保证线性度的前提下，可以实现纳米级别、亚纳米级别的分辨率。 物镜侧螺纹M直径（目标适配器【选配】） 型号 描述 M25 X 0.75 目标适配器 M26 X 1/36" 目标适配器 M26 X 0.75 目标适配器 M27 X 0.75 目标适配器 W0.8X1/36" 目标适配器