MP700S高性能磁控溅射镀膜系统

150学束外延系统（激光辅助CBE，MOMBE）

550S4超高真空多功能磁控溅射及电子束蒸发镀膜系统

550SL3超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪

550S高真空电子束蒸发镀膜仪（E-beam Evaporator）