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| 测量范围及精度 | Z轴（纵方向） | ±160μm |
| X轴（横方向） | 12.5mm | |
| 测定分辨率 | 0.01μm/±20μm～0.08μm/±160μm | |
| 测量速度（X轴） | 0.6mm/s（返回1mm/s） | |
| 传感器 | 测针半径 | 5μm |
| 测针材质 | 金刚石 | |
| 测量力 | 4mN以下 | |
| 测量及分析项目 | 对应规格 | JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、 |
| 参数或计划类型 | Pt、Ra、Rq、Rz、Rzmax、Rp、Rt、R3z、RSm、Pc、Rk、Rpk、Rvk、 | |
| Mr1、Mr2、VO、K、Rmr、R、Rx、AR、W、、AW、Wte（JIS-2001） | ||
| 评价曲线 | 断面曲线、粗糙度曲线、ISO13565特殊曲线、粗糙度Motif曲线、 | |
| 波纹度Motif曲线、包络波纹度曲线（可通过Surf_tool软件显示） | ||
| 滤波类型 | 高斯、2RC | |
| 截止波长 | λc:0.08、0.25、0.8、2.5mm；λs:2.5、8μm |
