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佛山市所在地
| 机器测量范围 | 轮廓仪 | 粗糙度仪 | |
| Z轴（纵方向） | 50mm | ±400μｍ | |
| X轴（横方向） | 100mm | 100mm | |
| 精度 | Z轴指示精度 | ± 0.25% 全量程、±4μm/5mm | - |
| 测定分辨率 | 0.1μm/5mm,0.4μm/20mm,1μm/50mm | 800μm/0.01μm – 25μm/0.004μ m6.4μm/0.0001μm（选配高倍率传感器） | |
| X轴指示精度 | ±（1+0.02L）μm L为测量长度（mm） | - | |
| 测定分辨率 | 0.1μｍ | 100mm/0.04μｍ 或32,000点 | |
| 直线精度 | 1μｍ/100mm | （0.05 + 1.5L / 1000） μm L=测量长度 （mm |
