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| 机器测量范围 | Z轴（纵方向） | ±400μｍ |
| X轴（横方向） | 100mm | |
| 精度 | Z轴测定分辨率 | 800μm/0.01μm – 25μm/0.004μ m6.4μm/0.0001μm（选配高倍率传感器） |
| X轴测定分辨率 | 100mm/0.04μｍ 或32,000点 | |
| 直线精度 | （0.05 + 1.5L / 1000） μm L=测量长度 （mm） | |
| 记录 | 纵倍率 | 50--500,000倍（可任意选择或自动选择） |
| 横倍率 | 0.1--20,000倍（可任意选择或自动选择） | |
| 速度 | 立柱上下（电动） | 3--10mm/s、手动 |
| 驱动速度（X轴） | 0.03--6mm/s、手动 | |
| 测量速度（X轴） | 0.03--6mm/s |
