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| 测量范围 | zui大测量直径 | φ300mm | |
| 左右移动范围（R轴） | 170mm | ||
| 上下移动范围（Z轴） | 300mm（高立柱：500mm） | ||
| zui大装载直径 | φ580mm | ||
| zui大测量高度 | 外径 300mm | ||
| 回转精度 | 回转方向 JIS Ｂ 7451-1997 | （0.02+4H/10,000）μm （H:台面到测量点的高度mm） | |
| 轴方向 JIS B 7451-1997 | （0.02+4R/10,000）μm （R：回转中心的测量点的距离mm） | ||
