HP-150 桌面式热板
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上海德竹芯源科技有限公司
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等离子体增强原子层沉积系统
P-300B 原子层沉积系统
R-200 Standard 原子层沉积系统
R-200 Advance 原子层沉积系统
产品功能
● 数字温度控制及实时温度显示
● 自动温度限幅开关,避免过热
● 配备安全玻璃,也方便清洁
● 热板快速调平,避免光刻胶流动
● 基片通过真空吸附固定
● 手动上下片
性能参数
● 均匀加热区域:150mm × 150mm
● 温度范围:室温到 250℃
● 温度均匀性:100℃ 时温差范围 +/-1℃
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