优点

● 薄膜成分分析

● 膜层的厚度测量

● 检测相互扩散层

● 微米范围多点分析

基本规格

全自动多样品纵深分析

● PHI 4700 薄膜分析仪在微小区域的纵深分析上拥有优异的分析能力，可在SEM图像上对微米级区域快速进行深度分析。图2是长年使用的镀金电极正常与变色两个样品的纵深分析结果，两者材质皆为镀金的锡磷合金。从电极二（变色电极）的深度分析结果可看到金属锡扩散到镀金膜上，界面腐蚀导致镀金层氧和锡含量变高，从而导致电极变色。

图1 – 图左镀金电极正常样品纵深分析结果 图右镀金电极变色样品纵深分析结果，可看到金属锡扩散到了镀金膜层

高感度半球型能量分析器

● PHI 4700 半球形能量分析器和高传输输入镜头可提供高灵敏度，大幅缩短样品分析时间。除此之外，PHI 4700 具有全自动的分析功能，可在短时间内测量多个样品。点选屏幕上软件所显示的样品台，可以记录样品的分析位置，从而对不同样品或者样品的不同位置进行分析。

纪录量测位置 > 多样品量测之图谱 > 多样品之纵深分析

10 kV LaB₆扫瞄式电子枪

● PHI 的 06-220 电子枪使用 LaB₆ 为电子源灯丝，具有稳定且使用寿命较长的特点，主要在氩气溅射薄膜时进行深度分析。06-220 电子枪打在样品表面可进行二次电子成像，进行俄歇表面分析和多点分析。其加速电压在 0.2-10 kV 区间可调。电子束的最小尺寸可小于 80 纳米。

浮动柱状式Ar离子枪

● PHI 的 FIG- 5B 浮动柱状式Ar离子枪可提供 5 V-5 kV 能量的 Ar 离子。大电流高能量离子束用于厚膜，小电流低能量离子束（250-500 V）用于超薄膜。浮动柱状式，确保高蚀刻率与低加速电压。物理弯曲柱会停止高能量的中性原子，从而改善了接口定义和减少对邻近地区的溅射。浮动柱状式设计确保了低加速电压下的高刻蚀效率，物理弯曲柱会阻止高能量的中性原子通过，从而改善了接口定义，减少了对临近区域的损伤。

五轴电动样品台和Zalar方位旋转

● PHI 的15-680 精密样品台提供 5 轴样品传送：X、Y、Z，旋转和倾斜。所有轴都可通过软件控制，以方便就多个样品进行的自动纵深分析。样品台提供 Zalar（方位角）旋转的纵深剖析，使溅射区域更加均匀，以优化纵深分析。

PHI SmartSoft用户界面

● PHI SmartSoft 是一个方便使用的仪器操作软件。软件通过任务导向和卷标横跨顶部的显示指导用户输入样品，定义分析点，并设定分析。一个强大的“自动Z轴定位”功能可定义多个分析点并达到理想的样品分析定位。简洁明了的界面设计及软件功能设置可以让操作者快速上手，方便设置，保存和调取分析参数。

图3 - PHI SmartSoft用户界面说明：自动多样品分析，二次电子成像，俄歇谱和俄歇表面成像

可选用配备

● 热/冷样品台

● 样品真空传送管（Sample Transfer vessel）

应用领域

● 半导体薄膜产业

● 微电子封装产业

● 无机光电产业

● 微摩擦学