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产品功能
● 闭合工艺腔体起到安全保护作用，材质 PP(SMD) 或不锈钢 (SMD-E)
● 腔体能容纳片子尺寸 200 mm
● 转速 3000 转，误差 +/-1 （依赖于基板尺寸和重量）
● 电驱动喷洒手臂，可静态或动态显影包含显影管路和溶剂罐
● 手臂上有去离子水清洗和氮气吹干机械式固定基板
选配功能
● 额外的显影管路（最多 4 路）
● 两个显影手臂
● 可加热显影罐（2 升）
● 不同大小材质的喷嘴（PEEK，不锈钢，0.3/0.5/0.8 mm）
