产品功能

● 可编程，最多 50 个程序

● 最多可同时喷涂 4 个晶基板

● 适用于重复工艺的快速启动功能

● 触摸屏面板控制，方便用户程序配置

● 工艺参数：喷嘴行进路径，喷洒臂速度，喷洒时间，锥形束形状电气驱动的喷洒臂，其在 X 或 Y 轴方向上的速度可选

● 可调整的喷嘴，具有恒定的喷洒压力和自动的清洁功能

● 用于计量压缩空气和检查真空度的指示元件

● 手动装卸基板

性能参数

● 喷洒臂的速度和定位精度： 0.4 m/s，±0.1 mm

● 每个分段的喷洒时间：最长为 9999 秒，调节步幅为 0.1 秒

● 喷洒循环的数目：最多 20 个曲回循环

● 环境温度：+4 至 +60°C

● 圆形或方形基板

● 适用 300 mm 的晶圆或 12×12 英寸的基板