显微镜 LED 曝光单元 UTA 系列是用于光刻的无掩模图案投影曝光设备。

使用金属显微镜和 LED 光源 DLP 投影仪，将分辨率为几 μm 的任意图案投影到涂有光刻胶的基板上进行曝光。您可以在计算机上自由创建图案。

另外，可以保存创建的图案。

与电子束光刻相比，它更便宜、更容易，因为可以在空气中在各种大小和形状的分层材料单晶薄片上形成电极。不需要制造昂贵的电极图案掩模。

用途

● 薄膜 FET 的电极形成和空穴效应测量样品

● 从原石的石墨烯钼中取出剥离的（薄）片，用于评估石特性的电极形成

● 用于研发应用的图案形成

特征
● 因为它是显微镜和 DLP 的组合相比现有系统更便宜的一种曝光设备

● 易于使用的专用软件，可让您轻松创建图案

● 通过物镜倍率，可以从精细图案到进行大范围的批量曝光

● 可以安装到您自己的显微镜上（取决于显微镜的规格）

● 分辨率为几微米的图案成型也是可能的

● 曝光范围：物镜 5X：约 1.16×0.72mm / 物镜 100X：约 60×35μｍ ※曝光范围仅供参考

☆曝光前可以进行测试投影（因为是红光，不会感光）

☆用白光曝光（曝光时间可以设置）