● 样品台：镀金样品台

● 样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

● 单筒显微镜：放大倍数 50 倍

● 视频成像配置： CCD成像系统，放大倍数 300 倍

● 探针臂：x/y/z 行程 40mm，精度 1μm

● 探针配置：DC/射频探针

● 真空系统：机械泵或分子泵

● 真空度：10^-3 Torr - 10^-6 Torr

● 观察窗口：100mm

● 温度范围：液氮制冷 77K - 570K，液氦制冷 10K - 570K，温度可到 1000K

● 温控精度：0.1K / 0.01K / 0.001K

● 制冷方式：液氮、液氦或制冷机系统