TS-200/2000HP 功率器件在片测试系统
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上海德竹芯源科技有限公司
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● 兼容 8 寸及以内晶圆，可定制 chuck 支持 Taiko 的晶圆
● 电压 3 kV，电流 130 A（后期可升级10 KV 500 A）
● 晶圆级三端垂直导电器件 SiC MOSFET（水平器件）
● 温度范围 -60℃ ~ 300℃
● 可进行 3 kV 高压偏置电容测量，全自动切换测试 Ciss，Coss，Crss，测试频率 100 kHz
● 支持探针和探卡两种针测方式
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