● 高度集成全自动化解决方案，覆盖非常复杂的测试

● 支持测试温度范围 25-95 度

● 测量完成 DUT 可自动分类

激光二极管芯片测试参数

LIV测量参数

● Ith阈值电流 < 1%

● SE斜效率 < 2%

● Iop工作电流

● Vop工作电压

● Pop工作功率

● Pbop背向工作功率

● Vf正向工作电压

● Pf前向功率

● Pb背向功率

● Rs等效电阻

● PfKink功率Kink

● PfIkink电流Kink

● PfLineary前向功率线性度

● PbKink前向功率Kink

● PbIkink背向功率Kink

● PbLineary背向功率线性度

● Iroll滚降电流点

光谱测量参数

● ʎc中心波长 <20pm@可调激光器/<0.1nm@其它激光器

● ʎp峰值波长 <20pm@可调激光器/<0.1nm@其它激光器

● SMSR边模抑制比 <3dB

● SMSR边摸抑制比 <2dB

● Pʎp峰值功率

● ʎ2pL左边第二峰值波长

● Pʎ2pL左边第二峰值功率

● ʎ2pR右边第二峰值波长

● PΛ2pR右边第二峰值功率

● DeltaPLR左右峰值功率差值

● FWHM3dB 带宽

● 20dB Bandwidth20dB 带宽

EA测量

● IdarkEA暗电流

● EREA 直流小光比 <+/-0.2dB

● LVI Curve功率& EA电流曲线 vs EA偏置电压

近场远场

● Near Field Beam waist近场束腰

● Near field angle @ X axisX 轴近场发散角

● Near field angle @ Y axisY 轴近场发散角

● Near M^2M 平方因子

● Far field angle @ Y axisX 轴远场发散角

● Far field angle @ X axisY 轴远场发散角

激光二极管芯片测试系统指标

系统特性

● DUT 类型：Die or CoC/CoS

● 芯片ID识别成功率：99%

● 分类功能：支持 4-6 晶圆盘，软件配置分类计划

● 光测试能力：同时支持前向/背向光测试

● 温区数量：2温区测试座

● NG DUT 容器：支持

● ESD保护：所有和 DUT 相关的材料都是 ESD 防护的，良好接地

● 周期时间：<8s 完成所有流程测试，包括：上料/运输/下料/分类/LIV测试/光谱测试

温度控制

● 温度控制方法：TEC 和加热板

● 温度控制范围：0°C 到 100°C

● 温度控制分辨率：± 0.1°C

● 温度控制精度：± 1°C

● 温度控制稳定度：± 0.5°C

● 温度防护能力：硬件防护@ >150°C

激光器控制

● 激光器驱动类型：每个芯片独立驱动

● 驱动电流极性：双极性

● 驱动电流范围：3A CW 和脉冲 10A

● 脉冲工作模式：支持 50us 脉冲到 CW，占空比 0-99%

● 驱动电流回读：包含

● 驱动电流分辨率：0.05% @满量程

● 驱动电流精度：± 0.05% @满量程

● 驱动电流稳定度：± 0.03% @满量程

● 驱动一致性电压：0-+/-60V 可配置

● 电压测量范围：+/-60V

● 电压测量精度：± 10mV

● 电压测量分辨率：0.03%

● 驱动电压范围：<0%

● 驱动电压精度：<0%

● 驱动电压分辨率：<0%

● 标称工作电过冲：<0%

● 异常工作电过冲：±3.3V

● 标称工作电下冲：±5V

● 异常工作电下冲：±50mV

● 时间探测：功率丢失、网络丢失、短路、开路和过温

光学测量

● 光功率测量能力：同时支持前向/背向测试

● 光功率测量范围：0-30 mW

● 光功率波长范围：900-1700 nm

● 光谱范围：700-1650 nm

● 光波长精度：50 pm

● 光波长分辨率：50 pm

机构参数

● DUT上料能力：6 英寸晶圆盘；X/Y/角度可调；XY 移动距离 80 mm

● DUT 位置精度：XY 位置精度 ≤10μm；重复性 ≤±1μm；旋转位置精度 ≤0.1° 旋转重复性 ≤0.1°

● DUT 捡起精度：移动范围 4 mm；重复性 ≤2μm

● DUT 探针精度：移动范围 3 mm；重复性 ≤2μm

● DUT 传输机构：均采用高精度步进电机带动，同步带传动，高精度滑轨导向实现

通用参数

● 尺寸：1250×1000×1800 mm（L×W×H）

● 输入气体压力：0.4-0.6 Mpa

● 输入交流电源：200-240 V, 50-60 Hz

● 计算机型号：Advantech

● 操作系统：Microsoft Windows 7

● 软件平台：Microsoft .Net

● 软件语言：C#

● 数据库：SQL

● 器件连接测试工具：集成

● 测试计划配置工具：集成

● 测试数据查询工具：集成