特点：

★半导体扩散炉烧结炉等

★满足3"-12"晶圆扩散炉"

★完整的产品系列

★进口替代

★*的材料及制造技术，指标优异

★使用温度：1300℃±0.5℃

★高温型、普通型、快速升降温型

扩散炉加热器参数：
工作温度：≤1300℃ 
恒温区长度：500mm-1000mm 
炉体内径：Φ90～Φ360　mm（3～12英寸） 
规范使用：寿命可达20个月以上（1200℃） 
替代进口：全配套 

扩散炉加热器材料：
炉丝：Φ8～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。 
绝缘子：采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。 
保温棉：采用英国摩根公司生产的高温保温材料。 
外壳：304不锈钢板卷制而成，连接处采用不锈钢拉铆钉连接。 
热偶座：进口弹簧卡状固定座。 
把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。 

扩散加热器应用：

青岛晨立电子有限公司生产的体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉、太阳能电池片扩散炉

晨立公司拥有十几年的专业研发制造经验。自成立以来，坚持产品设计和服务质量共同发展，积极进取，精益求精，不断提高产品核心竞争力。公司产品拥有完整自主产权。已拥有2项实用新型专li，2项发明专li正在申请中。有5名中、高级职称的工程师组成专业的研发团队，从事热工行业近20年之久，有丰富的生产制造经验。