UL5000

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2022-03-02 12:46:22
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英福康（广州）真空仪器有限公司

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产品简介

UL5000

详细介绍

好处

  • HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。
  • I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates) 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。
  • 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供灵敏度、快速响应和清洗。
  • 前置涡轮分子泵可以对任何测试对象（包括容量和腔室）提供极其快速的响应。
  • 经过领域验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用*、免维护设计，历经数年仍可提供准确且可重复的结果。
  • 自我保护功能可保护 UL5000 免受氦气和粒子污染，甚至还设有自动冲净周期，确保 UL5000 随时可用。
  • 旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。
  • 可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制，从而阻止未经地使用或意外修改测试设定。
  • 通过电子邮件升级软件，确保您的 UL5000 始终处于工作状态。
  • 新型工作站设计，带有高度的工作台面，并且配备有防静电台垫和工具箱，便于测试。

典型应用

  • 半导体和平板显示器工具上测试元件、部件和大型腔室泄漏测试
  • 半导体和平板工具泄漏测试
  • 航空元件、部件和系统泄漏测试
  • 储存容器/储罐的泄漏测试

规格

类型 UL5000 Helium Leak Detector
氦气（真空模式）可检漏率 mbar•L/s

< 5="" •="">-12
氦气（吸枪模式）可检漏率 mbar•L/s 8E-8
GROSS 模式进气口压力 mbar 15
FINE 模式进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m³/h 25 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力 L/s max 8
FINE 模式氦气抽气能力 L/s max 20
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s >20
可检测质量数 2,3,4 amu
质谱仪扇形场 180 °C
灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2
内置校准测试漏孔 E-7
测试端口 DN40KF
可调触发器 2
接口 RS232
图形记录器输出 2 x10 V
输入/输出 PLC compatible
允许的环境温度（操作过程中） °C +10...+40
重量 140
尺寸（长x宽x高） 1068x530x1083
电源电压 230(+-10%)50Hz
功耗 VA 1100

零件号

UL5000 Helium Leak Detector
零件号 明细
550-500A ULTRATEST UL5000, 230V, 50Hz, EU
550-501A ULTRATEST UL5000, 100/115V, 50/60Hz, US

附件

UL5000 Helium Leak Detector
零件号 明细
14005 SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头，4 米长
14022 RC1000 extension cable, 8 m
14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-010 遥控器 RC1000C，有线，带 4 米卷线
551-015 遥控器 RC1000WL，无线，包括无线发射机
551-020 RC1000WL 用无线发射机

备件

UL5000 Helium Leak Detector
零件号 明细
200000568 Operating unit UL1000/UL1000Fab/UL5000
200000578 PCB I/O
200000579 Device connector, mains input, cpl.
200000600 System comp. Electr. input UL1000/5000
200000602 System c. Power unit UL1000/Fab UL5000
200000685 Replacement filter cell UL1000/5000
200001081 Subassassembly Detection Module U5
200001082 Subassembly Booster Pump U5
200001665 Scroll head for scroll pump TS620
200002806 LP.CPU MC68 opt.Analog outputs
200003801 Oil wick cartridge HiPace 50/80
Fan
MSV-1电源板
SPIRAL CABLE
Spare part Sound absorber 3/4"
551-015R Remote Control RC1000WL, Refurbished
85904 NT12 for UL5000- use 200001294

数据表

手册

手册

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