Gemini™ 大气压至超高真空真空计-英福康（广州）真空仪器有限公司手机版

详细介绍

好处

MPG500 series represents the latest Technology to act as direct replacement for Cold Cathode or Penning Transmitters of the PTR 90 / PTR 225 (analog Versions) series.
在恶劣环境下，使用寿命长
低杂散磁场
零维护- 可换插头
超紧凑尺寸
可靠的快速点火
抗腐蚀馈入装置
可选测量电流

典型应用

基本压力监视和控制，在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
一般真空测量 – 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

新闻

新一代冷阴极/冷阴极-皮拉尼组合真空计现在开放订购！

规格

类型		MAG50x	MPG50x
测量系统		Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)	Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
测量范围（空气、氮气）		1×10^-9 … 1×10^-2	1×10^-9 … 1000
准确度 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴	% of reading	30	30
1×10-2 … 100 毫巴	% of reading	-	15
100 … 1000 毫巴	% of reading	-	50
可重复性 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴	% of reading	5	-
1×10-8 … 100 毫巴	% of reading	-	5
安装定位		any	any
容许压力	bar (absolute)	10 (limited to inert gases <>	10 (limited to inert gases <>
容许温度
运行（环境）	°C	+5 ... +55	+5 ... +55
法兰烘烤 (1)	°C	<150	<150
储存	°C	-40 ... +70	-40 ... +70
灯丝温度	°C	-	120
一年 30 天的相对湿度
1×10-7 … 1×10-2 毫巴	%	<95 (non-condensing)	<95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴	%	<70 (non-condensing)	<70 (non-condensing)
供电电压
在量规 (2)	V (dc)	+14.5 ... +30	+14.5 ... +30
波纹	V (p-p)	<1	<1
功耗	W	<2	<2
待连接的保险丝	AT	<1	<1
电压范围
模拟输出	V	0 ... +10.5	0 ... +10.5
测量范围
3MAx-00x-0x0N	V	+1.5 ... +8.5	-
3MBx-00x-0x0P	V	-	+1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q	V	+0.667 ... +10	-
电压比压力
3MAx-00x-0x0N	volts per decade	1 (logarithmic)	-
3MBx-00x-0x0P	volts per decade	-	0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Q	volts per decade	1.33 (logaritmic)	-
错误信号
错误信号	V	<+0.5	09.5 ... +10.5
输出阻抗	Ω	2x10	2x10
负载阻抗	kΩ	>10 (short circuit-proof)	>10 (short circuit-proof)
阶跃响应时间
p > 10-6 毫巴	ms	<10	<10
p = 10-8 毫巴	ms	~1	~1
量规标识	kΩ	100	85
状态（针 6）
仅皮拉尼模式	V	-	0 (low)
冷阴极点燃	V	+15 ... +30	-
组合皮拉尼/冷阴极模式 3)	V	-	+15 ... +30 (high)
电气连接
3Mxx-00x-000x		FCC68, 8-pin, female	FCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x		D-sub, 9-pin, male	D-sub, 9-pin, male
传感器电缆
3Mxx-00x-000x		8-pin, shielded	8-pin, shielded
电缆长度
50 米电缆	m	< 50 (8x0.14 mm²)	< 50 (8x0.14 mm²)
75 米电缆	m	< 75 (8x0.25 mm²)	< 75 (8x0.25 mm²)
100 米电缆	m	< 100 (8x0.34 mm²)	< 100 (8x0.34 mm²)
300 米电缆	m	< 300 (8x1.00 mm²)	< 300 (8x1.00 mm²)
工作电压	kV	<3.3	<3.3
工作电流高	µA	<500	<500
工作电流低	µA	<100	<100
曝露在真空的材料
3Mx0-00x-0x0x		Ni alloy, AI₂O₃, glass, stainless steels	W, Ni alloy, AI₂O₃, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x		Ni alloy, AI₂O₃, stainless steels	Ni alloy, AI₂O₃, stainless steels
内部容量	cm³	22.8	22.8
重量
DN 25 ISO-KF	g	<280	<280
DN 40 ISO-KF	g	<320	<320
DN 40 CF-F & CF-R	g	<570	<570
防护等级		IP 40	IP 40
标准
符合CE		EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS	EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS
维护		none	none

1) 没有电子设备。

2)供电装置的最小电压必须根据传感器电缆的长度成比例增加。

3) 冷阴极点火。

零件号

MAG50x
零件号	明细
3MA0-007-000Q	MAG500 SS,HC,FCC,40KF
351-500	MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-512	MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-555	Spare ion chamber ss
351-550	MxG50x 点火单元
351-995	起辉器
MPG50x
零件号	明细
3MB0-006-000P	MPG500 SS,HC,FCC,25KF
3MB0-007-000P	MPG500 SS,HC,FCC,40KF
3MB0-00Q-000P	MPG500 SS,HC,FCC,40CF-F
351-506	MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-555	Spare ion chamber ss
351-550	MxG50x 点火单元
351-995	起辉器

附件

MAG50x
零件号	明细
211-098	细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550	MxG50x 点火单元
MPG50x
零件号	明细
211-098	细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550	MxG50x 点火单元

数据表

手册

三维步骤文件

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