SKY CDG025D 0.1 ... 1000 托 / 毫巴-英福康（广州）真空仪器有限公司手机版

详细介绍

好处

Fully compatible with competive products
全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
一键调零功能
电源范围广

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量

规格

类型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
温度效应
零点	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
满量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
压力，	kPa (absolute)	400	260	260	130	130
反应时间 (2)	ms	30	30	30	130	130
读数	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建议的读数	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建议的控制压力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
温度
运行（环境）	°C	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50
在法兰处烘烤 (3)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65
电源电压	V (dc)	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30
功耗	W	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10
保护等级		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass
内部容积
1/2'' 管	cm³ (in.³)
DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)
DN 16 CF-R	cm³ (in.³)
8 VCR®	cm³ (in.³)
重量
1/2'' 管	g
DN 16 ISO KF	g
DN 16 CF-R	g
8 VCR®	g

(1) 非线性，迟滞，在 25 °C 环境工作温度中的可重复性，2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS

(3) 非运行

(4) CDG025D-S

(5) 28% 镍，23% 钼，49% 铁

(6) 18% 铬，10% 镍，3% 钼，69% 铁

零件号

1000 Torr / 1100 mbar
零件号	明细
375-000	CDG025D 1`000 Torr; 1/2¨tube
375-001	CDG025D型陶瓷薄膜规
375-002	CDG025D 1`000 Torr; DN16CF-R
375-003	CDG025D 1000 Torr; 8-VCR
376-000	CDG025D 100 Torr; 1/2¨tube
376-001	CDG025D 100 Torr; DN16ISO-KF
376-002	CDG025D 100 Torr; DN16CF-R
376-003	CDG025D 100 Torr; 8-VCR
377-000	CDG025D 10 Torr; 1/2¨tube
377-001	CDG025D型陶瓷薄膜规
377-002	CDG025D 10 Torr; DN16CF-R
377-003	CDG025D 薄膜规
378-000	CDG025D 1 Torr; 1/2¨tube
378-001	CDG025-D薄膜规
378-002	CDG025D 1 Torr; DN16CF-R
378-003	CDG025D型陶瓷薄膜规
379-000	CDG025D 0.1 Torr; 1/2¨tube
379-001	CDG025D 0.1 Torr; DN16ISO-KF
379-002	CDG025D 0.1 Torr; DN16CF-R
379-003	CDG025D 0.1 Torr; 8-VCR
383-001	CDG025D 20 Torr; DN16ISO-KF

数据表

手册

三维步骤文件

其他文件

产品简介

详细介绍