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合肥市所在地
1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)型号:BTF-1200C-II-CVD
面议双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
面议纳米线生长专用设备
面议碳纳米纤维膜系统 BTF-1400C-CN-80
面议流化床—粉体碳纳米管生长设备
面议连续进出料等离子体增强回转PECVD设备-BTF-1200C-RP-PECVD
面议回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
面议分体式升华设备将热场置于手套箱(简易款)
面议半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪(试验级)
面议实验级升华仪BOF-7-100(新款)
面议实验级升华仪BOF-5-50
面议升华仪 BOF-7-100
面议1.加热系统
温度 | 1200℃ |
使用温度 | ≤1100℃ |
炉管尺寸 | Φ150mm(炉管直径可根据实际需要定制。) |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 | K型热电偶 |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为7”工控电脑,内置PLC控制程序。 |
加热长度 | 200+200+200mm |
加热原件 | 电阻丝 |
供电电源 | 单相,220V,50Hz |
2、PE系统
功率输出范围 | 0W~1000W |
反射功率 | 200W |
射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率稳定度 | ≤5W |
谐波分量 | ≤-50dbc |
供电电压 | 单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ |
整机效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷却方式 | 强制风冷 |
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) | 200sccm,500sccm、1000sccm(可根据用户要求定制) |
准确度 | ±1.5%F.S |
线性 | ±1%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
响应时间 | 气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 | 0.1~0.5 MPa |
压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
显示 | 4位数字显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
压力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
4、低真空机组
空气相对湿度 | ≤85% |
工作环境 | 5℃~40℃ |
工作电电压 | 380V |
抽气速率 | 32m³/h |
极限真空 | 5X10-1Pa(空载冷态) |
工作压力范围 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa |
进气口口径 | KF40 |
排气口口径 | KF40 |
连接方式 | 采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |