半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪（试验级）-安徽贝意克设备技术有限公司手机版

产品简介

此款设备将实验级别的升华机进出料端均对接手套箱，手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用，半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异，对于材料进行提纯，参数准确，工艺可靠稳定，实验结果表明，单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度，将材料的纯度提升一至三个数量级

详细介绍

此款设备将实验级别的升华机进出料端均对接手套箱，手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用，半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异，对于材料进行提纯，参数准确，工艺可靠稳定，实验结果表明，单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度，将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝，避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染，是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的。

参数：

型号	BOF-5-100
额定功率	6KW
工作温度	600℃
推荐升温速率	>10℃/分钟
炉管尺寸	外径φ100x1200mm
加热区长度	100+200+200+200+100mm
控温精度	±1℃
加热元件	进口KTL电阻丝
分子泵抽速	250L/s
机械泵抽速	16L/s
炉体尺寸(长宽高)	15506501260mm
极限真空	5x10^-4Pa
手套箱	左右各配置一台单工位，1220750900mm