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大口径立式高温炉 BTF-1200C-VI-VT-530
面议1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)型号:BTF-1200C-II-CVD
面议双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
面议纳米线生长专用设备
面议碳纳米纤维膜系统 BTF-1400C-CN-80
面议流化床—粉体碳纳米管生长设备
面议连续进出料等离子体增强回转PECVD设备-BTF-1200C-RP-PECVD
面议回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
面议分体式升华设备将热场置于手套箱(简易款)
面议半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪(试验级)
面议实验级升华仪BOF-7-100(新款)
面议实验级升华仪BOF-5-50
面议 额定功率 | 16.8KW(加热炉12KW+预热炉4.8KW) |
额定电压 | 380V (三相五线制) |
温度 | 1200℃ |
工作温度 | ≦950-1000℃(主机) ≦800℃(预热炉) |
推荐升温速率 | ≦15℃/min |
炉管尺寸 | 异形石英管:Φ80*Φ150mm*1600mm(两端*中间*总长)(主机) |
石英管:Φ100mm*1200mm(预热炉) | |
加热区长度 | 300mm*300mm*300mm(主机) |
200mm*200mm*200mm(预热炉) | |
热电偶 | K型热电偶 |
控温方式 | 模糊PID控制和自动整定调节,智能化30段可编程控制 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝(主机、预热炉) |
炉体尺寸 | 长2540mm*宽880mm*高1400mm(主机) |
长825mm*宽450mm*高1100mm(预热炉) | |
设备净重 | 400KG(主机) 80KG(预热炉) |