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合肥市所在地
1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)型号:BTF-1200C-II-CVD
面议双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
面议纳米线生长专用设备
面议碳纳米纤维膜系统 BTF-1400C-CN-80
面议流化床—粉体碳纳米管生长设备
面议连续进出料等离子体增强回转PECVD设备-BTF-1200C-RP-PECVD
面议回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
面议BOF-6-130升华仪
面议10-1000g 有机小分子升华仪BOF-5-150
面议公斤级 有机半导体材料提纯 升华仪BOF-6-210
面议公斤级 有机半导体材料提纯 升华仪BOF-8-210
面议半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪(量产级)
面议此款设备简易分体式结构,能将升华体置于手套箱内部,控制部分及真空部分置于手套箱外,成本低,操作简易。能初步满足材料进出及升华过程中的气氛保护要求。法兰为球头真空吸附方式密封,无需工具操作,大大降低了手套箱内的操作难度,整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的。
技术参数:
设备长度500mm,亮面不锈钢
外管尺寸50mm*700mm
单层金属滤网,简易拆卸,易清洁保养
每段加热区长度=100+200+100mm
软件温控保护温=600°C
极限真空10^-4Pa
升华炉体内置于手套箱内