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贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择带有两根氧化钇镀层铱丝的BPG400型真空计,价格经济,且可重复测量基准压力。传感元件自带的在轨校准数据在更换传感器时确保了高再现性。
现有全新EtherCAT数字接口供应!
BPG402-S | |
---|---|
零件号 | 明细 |
353-570 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
353-571 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
353-572 | BPG402-S 真空计 |
353-573 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
353-574 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
353-575 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
353-576 | BPG402-SD 型真空计 |
353-577 | BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R. |
353-578 | BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
类型 | BPG402-S | |
---|---|---|
测量范围(空气、O2、CO、N2) | mbarTorr | 5×10-10 … 1000 |
精度 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
可重复性 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
除气 (1) | ||
p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
压力, | bar (absolute) | 2 |
温度 | ||
运行(环境) | °C | 0 … +50 |
贮存 | °C | -20 … +70 |
在法兰处烘烤,无电子设备 BPG402-S | °C | 80 |
无电子设备,在法兰处烘烤 BPG402-SL | °C | 150 |
电源电压 | V (dc)A (dc) | +20 … +28 |
输出信号模拟 | ||
输出信号 | V | 0 … +10 |
测量范围 | V | +0.774 … +10 |
电压与压强 | volts per decade | 0.75 |
错误信号 | V | 0.1 / 0.3 / 0.5 |
最小负载电阻 | kΩ | 10 |
设定点继电器 | ||
设定点数量 | 1 | |
范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
继电器触点 | n.o., potential free | |
滞后 | % of reading | 10 |
触点额定值 | V (dc)A (dc) | ≤30 |
数字功能 | degas | |
接口(数字)(2) | RS232C | |
发射控制 | automatic / manual via interface | |
单丝 | two Yt2O3 coated Ir | |
单丝状态/继电器 | LED / relay | |
电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
电缆长度, (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
保护等级 | IP30 | |
Profibus DP | ||
波特率 | kBaudMbaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
设定点继电器: 设定点数量 | 2 | |
设定点继电器: 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
设定点继电器: 继电器触点 | n.o., potential free | |
设定点继电器: 滞后 | % of reading | 10 |
设定点继电器: 触点额定值 | V (dc)A (dc) | ≤30 |
Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
DeviceNet™ | ||
协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
I / O 从属传讯 | polling only | |
设定点继电器: 设定点数量 | 2 | |
设定点继电器: 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
设定点继电器: 继电器触点 | n.o., potential free | |
设定点继电器: 滞后 | % of reading | 10 |
设定点继电器: 触点额定值 | V (dc)A (dc) | ≤30 |
DeviceNet™ 电源电压 | V (dc)A (dc) | +11 … +25 |
真空计电源电压 | V (dc)A (dc) | +20 … +28 |
DeviceNet™ 连接器 | Microstyle, 5-pin | |
BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
以太网 | ||
以太网协议 | protocol specialized for EtherCAT | |
通讯标准 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
节点地址 | Explicit Device Identification | |
物理层 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
以太网数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
过程数据 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
邮箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |
以太网连接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
电缆 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) |
1) 除气期间降低精度
2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线
3) 适用于 RS232C 运行 <30m