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在需要无油泵时，XDS涡旋式干泵可出色地替代旋片泵。XDS涡旋式干泵的抽速为 5、10 和 35 m3/hr，特别是采用了创新的轴承护罩，将真空环境与各种润滑剂隔离开，使之不仅干燥， 而且保护轴承免受任何制程气体的影响。蒸汽处理通过可调气囊实现；这使该系列的泵能够应用于以前许多不能采用其他滚轴泵的应用场合。
XDS系列涡旋式干泵具有创新的轴承护罩设计，可将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，使之不仅干燥，而且密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。
气囊允许处理蒸汽，将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。变频器驱动装置控制着电机特性，可确保泵总是以转速运转。
应用
分析仪器
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
涡轮分子前级泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
特点及优势
真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可保证的清洁和干燥真空，防止交叉污染 技术数据 XDS5 XDS10 XDS35i 排量 50Hz 5.7 m3h-1 / 3.4 ft3min-1 11.3 m3h-1 / 6.7 ft3min-1 43 m3h-1/ 25 ft3min-1 60Hz 6.7 m3h-1 / 4.0 ft3min-1 13.4 m3h-1 / 7.9 ft3min-1 43 m3h-1/ 25 ft3min-1 峰值抽速1 50Hz 4.8 m3h-1 / 2.8 ft3min-1 9.3 m3h-1 / 5.5 ft3min-1 35 m3h-1/ 21 ft3min-1 60 Hz 6.0 m3h-1 / 3.5 ft3min-1 11.1 m3h-1 / 6.5 ft3min-1 35 m3h-1/ 21 ft3min-1 极限真空（总压力） 1 x 10-2mbar / 8 x 10-3Torr 50Hz 7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr 7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr 60 Hz 6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr 6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr 水蒸汽的进气口压力 50 mbar/38 Torr 35 mbar/23 Torr 35 mbar / 23 Torr 水蒸汽抽速– GB I 70 gh-1 70 gh-1 70 gh-1 水蒸汽抽速– GB II 200 gh-1 200 gh-1 240 gh-1 允许的出口压力 1 bar 表压/14 psig 1 bar 表压/14 psig 0.2 bar gauge / 2.9 psig* 允许的进气口和气镇压力 0.5 bar 表压/7 psig 0.5 bar 表压/7 psig 0.5 bar gauge / 7 psig 电机功率（1 相和3 相） 0.3kW 0.3kW 0.52 kW 电源连接器（1 相） IEC EN60320 C13 IEC EN60320 C13 IEC EN60320 C19 标称旋转速度50/60 Hz 1500/1800 rpm 1500/1800 rpm 1750 rpm 重量 23 kg/51 lb 24.5 kg/54 lb 48 kg/105 lb 进气口法兰 NW25 NW25 NW40 排气口法兰 NW25 NW25 NW25 噪音级别 50 Hz 时55 dBA 50 Hz 时55 dBA 57 dB(A) 振动 <4.5 mms-1 (rms) <4.5 mms-1 (rms) <4.5mms -1 (rms) 密封性（静态） <1 x 10-6 mbar ls-1 <1 x 10-6 mbar ls-1 <1 x 10-6 mbar ls-1 工作温度范围 10 至40 °C/50 至104 °F 10 至40 °C/50 至104 °F 10 至40 °C/50 至104 °F
无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz
