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气体分析标准
为一般真空应用带来性能和非凡价值
随着制造技术的进步和质量标准的变更,了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector
MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查,帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的
RGA 性能。
Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型号,使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS
成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。
类型 | MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | |
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传感器长度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
质量范围 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | |
检测器类型 | FC | EM | FC | EM | |
灵敏度 (FC) | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | |
灵敏度 (EM) | NA | 500 amps/Torr | NA | 500 amps/Torr | |
最小可检测分压 | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | |
传感器工作温度(FC) | 200 °C | NA | 200 °C | NA | |
传感器工作温度(EM) | NA | 150 °C | NA | 150 °C | |
丝极类型选件 | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | |
分辨率 (1) | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | |
温度系数 (2) | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | |
每点数据率 | 3 ms | 3 ms | 3 ms | 3 ms | |
零冲击(位于质量 2) | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
工作压力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
烘烤温度 | 300 °C | 300 °C | 300 °C | 300 °C | |
功率输入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC |
(1) 位于峰值高度的 10%
(2) 时长 8 小时,半小时预热时间;仅适用于 FC 模式