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苏州市所在地
| 结构・方式 | 多孔质空气轴承・检测器式回转 |
| 回转精度 | 0.05μm |
| 测定径 | 内外径同 φ550mm（※EC5100H） |
| 装载重量 | 200kg（※EC5100H） |
| 上下移动量 | 1000mm（b测杆使用時）（※EC5100Hの場合） |
