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苏州市所在地
測定范围 | Z:50mm X:100mm |
測定精度 | Z:±0.25%/全量程 |
X轴光栅尺分解能 | 0.1μm |
测定倍率 | 纵横均为1~200倍 |
上下移动范围 | 200mm |