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| 测定范围 | Z：800μm X：120mm |
| 取样数/分解能 | 32,000点/16bit |
| 真直度精度 | 0.2μm/120mm |
| 测定倍率 | 纵：50～500,000 横：1～5,000 |
| 测量速度 | 0.05～5mm/s |
| 上下移动范围 | 320mm |
