采用雷射干涉计方式

雷射检出器

雷射光源置于检出器外部，以光先导入光路差被增光学系，不会因光热而产生漂移。
动态范围和分解能比值600000：1，大型测定件中，埋藏于沟谷之间的微细形状，巨细皆可测定出来。

Z轴分解能/测定范围 0.01μm/ 6mm
0.02μm/12mm
X轴分解能/测定范围 0.1μm/ 100mm

*粗度、波纹度解析机能
*形状解析机能
‧要素解析、向量解析　‧非球面解析
‧Ball Screw解析　 　　‧非球面解析‧MASTER比较解析