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| 測定精度 | Z：±（2.5+0.5×IHI）μm以下 H：変位（mm） |
| 分解能 | Z：0.25μm X分辨率：0.1μm |
| 取样数／最小间隔 | Max 64,000点／Min 0.5μm |
| 測定范围 | Z：30mm X：50mm |
| 表示倍率 | 纵（Z）、 横（X）：1～2,000倍 |
