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FPSUR-Laser-Cluster 超高真空激光分子束外延集群系统
具体成交价以合同协议为准
2023-03-30
- 型号
- FPSUR-Laser-Cluster
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产品简介
超高真空激光分子束外延集群系统lasercluster将不同的薄膜和分析技术结合成一个强大的系统
详细信息
超高真空激光分子束外延集群系统 laser cluster将不同的薄膜和分析技术结合成一个强大的系统。最多可将七个单独的腔室连接到传输模块，从而在超高真空条件下实现复杂的处理！
超高真空激光分子束外延集群系统的核心是传输模块和负载锁定室。额外的沉积、分析和专门的转移模块很容易添加到系统中。由于系统的模块化设计（每个模块都安装在带轮子的独立支架上），这是一个快速而简单的过程。
超高真空激光分子束外延集群系统的设计既节省了空间，又提供了的可接近性：所有真空室均为独立式，便于接近所有法兰和部件。
转移室和传输模块
转移和处理室是集群超高真空激光分子束外延集群系统的核心，高度灵活，可适应不同的工艺模块。它安装在一个坚固的钢架上，并具有用于六个或八个附加腔室的对接法兰。它还包括系统的烘烤加热器组件，包括一个带循环风扇的12 kW加热器。其他功能包括：
六/八个端口（一个由负载锁占据），带有CF63（4½”）或CF150（8”）法兰
钛升华/离子吸气剂组合泵在低压下的高抽运速度
低10−10毫巴标度基准压力
精确的重型机械手/转移机构，能够处理直径为6”、重量为1 kg、三个自由度（伸展、旋转、高度）的负载
转移系统可以转移衬底/样品，也可以转移激光MBE室的PLD靶盒
样品和目标转盘的可选内部存储系统
带顶置显示屏的摄像系统，方便监控传输
传输系统可以进行修改，以适应各个附加分析或处理系统的要求。
超高真空激光分子束外延集群系统的核心是传输模块和负载锁定室。额外的沉积、分析和专门的转移模块很容易添加到系统中。由于系统的模块化设计（每个模块都安装在带轮子的独立支架上），这是一个快速而简单的过程。
超高真空激光分子束外延集群系统的设计既节省了空间，又提供了的可接近性：所有真空室均为独立式，便于接近所有法兰和部件。
转移室和传输模块
转移和处理室是集群超高真空激光分子束外延集群系统的核心，高度灵活，可适应不同的工艺模块。它安装在一个坚固的钢架上，并具有用于六个或八个附加腔室的对接法兰。它还包括系统的烘烤加热器组件，包括一个带循环风扇的12 kW加热器。其他功能包括：
六/八个端口（一个由负载锁占据），带有CF63（4½”）或CF150（8”）法兰
钛升华/离子吸气剂组合泵在低压下的高抽运速度
低10−10毫巴标度基准压力
精确的重型机械手/转移机构，能够处理直径为6”、重量为1 kg、三个自由度（伸展、旋转、高度）的负载
转移系统可以转移衬底/样品，也可以转移激光MBE室的PLD靶盒
样品和目标转盘的可选内部存储系统
带顶置显示屏的摄像系统，方便监控传输
传输系统可以进行修改，以适应各个附加分析或处理系统的要求。
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