太阳能电池单面干法刻蚀机是专业为晶圆刻蚀设计的干法蚀刻机。
这款太阳能电池刻蚀机专为小型试验线和科学研究机构设计,围绕一个ADE反应堆建造的.可配备自动装载机/卸载机，以提供更高的吞吐量。它对用户友好，可以非常快速地启动，典型的蚀刻/纹理处理持续时间不到一分钟。无需真空或等离子体，该干式蚀刻工具不同于反应离子蚀刻（RIE）工具。
快速启动-易于维护
一旦工具达到工艺温度，工艺即可开始，并立即产生稳定的结果。工艺气体由质量流量计精确控制。一旦晶片从工具中出来，它们就可以用于下一个加工步骤；快速而有效的蚀刻，无论是对于几片晶圆，还是大批量晶圆！该工具还设计为易于维护和接近化学反应器。
通用,适合多种蚀刻需要
通用硅蚀刻/纹理化解决方案。允许使用金刚石线切割晶片、外延晶片、铸造晶片、单晶和多晶。也适用于Si沉积层，如非晶硅（a-Si）和多晶硅层
太阳能电池单面干法刻蚀机应用
正面纹理/黑硅/纳米和微纹理
单面蚀刻/纹理
Mc-Si金刚石线切割晶片纹理
TOPCON电池的单面非晶硅（a-Si）去除
铸造晶片、UMG、外延晶片纹理
无ARC层太阳能电池的发展
薄膜蚀刻/纹理
发射极回蚀和选择性发射极方案
图案蚀刻/选择性蚀刻
背面发射器移除和平整
锯伤清除
简化的PERC流程
多孔层吸气