吉时利 Keithley 6514 可编程静电计

• 吉时利6514：

• 测量范围：100 aA ~ 20 mA

• 最小分辨率：0.001 fA

• 典型噪声：200fA 档＜0.75 fA p-p

• 输入压降（Burden Voltage）：低至 20 μV，几乎不扰动被测回路

• 精度（代表档位）：

• pA/fA 档：±0.3% 读数 + 0.2% 量程

• μA/mA 档：±0.05% 读数 + 0.02% 量程

2. 直流电压测量

• 量程：200 V 

• 测量范围：10 μV ~ ±200 V

• 分辨率：0.1 μV（2mV 档）

• 输入阻抗：＞200 TΩ // 20 pF；开启 Guard 屏蔽后输入电容＜2 pF

• 精度：±0.01% 读数 + 0.005% 量程

• 工频抑制：DC 共模抑制＞120 dB，串模抑制＞55 dB（50/60Hz）

3. 电荷测量（硬件积分模式）

• 量程：20 μC / 2 μC / 200 nC / 20 nC / 2 nC / 200 pC / 20 pC

• 测量区间：10 fC ~ 20 μC

• 分辨率：0.001 fC

• 适用：电容自放电、静电积累、光电瞬时电荷采集

4. 电阻测量（伏安法，需外接激励源）

• 测量区间：10 mΩ ~ 200 GΩ；搭配外部高压源可拓展至 10¹⁶ Ω

• 精度：低阻＜1%，200GΩ 高阻档＜10%

• 四线开尔文测量消除引线电阻误差

5. 采集速度与存储

• 本机缓存采样速率：1200 读数 / 秒

• GPIB 总线上传速率：500 组 / 秒

• 面板显示刷新：15~17 次 / 秒

• 内置缓存：可存储 2500 组测量数据，支持离线读取

6. 通讯与 IO 接口（全部标配）

1. 数字控制：IEEE488 GPIB、RS-232 串口

2. 可编程数字 IO：8 路触发输入 / 输出，对接机械手、开关矩阵、分选机

3. 模拟输出两路：

• 标准化 2V 满量程输出（记录仪采集）

• 前置放大器原始信号输出

4. 输入端子：三同轴 Triax 屏蔽接口，标配 2m 低噪声三同轴线缆

7. 机械、供电、环境规格

• 外形尺寸（宽 × 高 × 深）：213 mm × 89 mm × 370 mm

• 整机重量：5.2 kg

• 供电：100~240 VAC 50/60 Hz，功率 70 VA

• 预热时间：30 分钟达到标称精度

• 工作温度：0 ℃ ~ 40 ℃；存储温度 -20 ℃ ~ 70 ℃

• 安全标准：EN61010，EMC 符合 FCC Class B

8. 配套标准附件

三、典型应用场景

1. 半导体漏电流检测

   MOS 栅极漏电、二极管反向饱和电流、模拟开关关态漏流、芯片介质薄膜漏电；

2. 光电器件暗电流

   光电二极管、CCD、红外探测器、太阳能电池暗电流微小信号采集；

3. 高阻绝缘材料表征

   高分子薄膜、陶瓷绝缘层、PCB 绝缘电阻、纳米线 / 二维材料超高阻测试；

4. 电容与静电测试

   薄膜电容自放电、ESD 静电电荷累积、压电材料电荷输出；

5. 电化学 / 生物微电流

   微电极氧化还原电流、生物膜微弱离子电流；

6. 自动化产线质检

   搭配外部高压源 / 开关矩阵，批量元器件绝缘、漏电快速分选。