吉时利 Keithley 6430 亚飞安远程源表

. 电压源（输出）

• 输出量程：±200 mV、±2 V、±20 V、±200 V

• 输出：±210 V

• 编程分辨率：5 μV

• 输出功率：单通道连续2.2 W

• 源精度：±(0.02% 读数 + 200 μV)

• 建立时间：满量程＜100 ms

2. 电压测量

• 测量范围：1 μV ~ ±211 V

• 分辨率：1 μV（200mV 档）

• 输入阻抗：＞10¹⁶ Ω（所有电压量程）

• 测量精度：±(0.012% 读数 + 100 μV)

• 四线 Sense 同步采样，消除引线压降误差

3. 电流源（输出）

• 输出量程：±1 pA ~ ±100 mA 多档分段

• 输出电流：±100 mA

• 最小编程电流：0.5 fA

• 四象限双向源 / 阱，可吸收器件反向电流

4. 电流测量（核心强项，分档精度）

• 最小可测电流：10 aA（10⁻¹⁸ A）

• 建立时间：

• 1pA/10pA 档：＜2 s

• 100pA~10nA：＜50 ms

• 100nA 及以上：＜5 ms

5. 电阻测量

• 测量区间：1 μΩ ~ ＞20 TΩ（2×10¹³ Ω）

• 四线开尔文模式，消除测试线电阻

• 高阻档自动加压测流，适配绝缘、薄膜、介质材料

6. 采集速度与缓存

• 读数速率：2000 读数 / 秒（存入仪器内存）

• GPIB 总线输出： 75 组源测数据 / 秒

• 内置缓存：可存储数千组 I-V 采样点，离线绘图分析

7. 通讯与 IO 接口

• 标配：IEEE488 GPIB、数字触发 IO（可编程输入输出，产线自动分选）

• 三轴低噪声输入接口（主机 + 远程前置放大器）

• 兼容 SCPI 指令，支持 LabVIEW、Python、C/C++ 自动化

8. 硬件、环境、机械规格

1. 远程前置放大器

   尺寸：20×57×97 mm，连接线最长 2 m，三轴屏蔽防漏流

2. 主机整机

   外形（不含手柄）：89 mm (H) × 213 mm (W) × 370 mm (D)

   带手柄支脚：104×238×370 mm

   整机重量：5.9 kg

3. 供电：100~240 VAC 50/60 Hz， 100 VA

4. 预热：1 小时达到标称精度

5. 工作温度：0 ℃ ~ 40 ℃；存储 - 20~70 ℃

6. 安全 / EMC：符合 EN61010、FCC Class B

9. 保护机制

三、典型应用场景

1. 半导体微电子测试

   MOSFET 栅极漏电流、High-K 介质薄膜漏电、二极管反向饱和电流、单电子晶体管 SET、量子点微弱隧穿电流、模拟开关关态漏流。

2. 光电器件暗电流测试

   光电探测器、CCD、太阳能电池暗电流（nA/fA 级）、LED 反向偏置漏电。

3. 高阻材料 / 绝缘表征

   高分子聚合物、纳米线 / 碳纳米管、二维材料、陶瓷绝缘膜、PCB 绝缘电阻、电容器自放电漏流，测量 TΩ 级超高阻抗。

4. 电化学与生物科研

   微电极微弱氧化还原电流、细胞膜微电流、微量电荷检测。

5. 器件可靠性老化

   长期监测微小漏电漂移、介质击穿前预漏电检测。

四、与 2602B 简单对比（选型区分）

1. 6430：单通道、亚飞安小电流、200V 高压、2.2W、带分离前置放大器，侧重科研微弱漏流、超高阻；

2. 2602B：双通道、 40V、每路 40W/10A 脉冲，侧重功率器件、MOS、LED 量产 IV 曲线，大电流脉冲测试。