吉时利 Keithley 6517B 静电计 高阻表

吉时利6517B电阻计：

微弱电流能力

分辨率 10 aA（10⁻¹⁸ A），输入偏置电流＜3 fA，噪声仅 0.75 fA p-p，最小电流量程输入端压降＜20 µV，几乎不扰动被测微弱回路。

1. 超宽电阻量程

   电阻测量覆盖 10 Ω ~ 10¹⁸ Ω，覆盖导体、半导体、超高绝缘介质全区间；搭配 ±1kV 内置高压源，可做击穿、漏流、高低压变压扫描测试。

2. 高精度多模式测量

   支持 5½/6½ 位双精度模式；同时测电流、电压、电荷、电阻；内置 K 型热电偶测温、可选湿度探头，读数自带温湿度标记。

3. 自动化与高速采集

    425 读数 / 秒，内置 50000 点数据缓存；标配 GPIB (SCPI)+RS232，可选多通道扫描卡扩展至多 10 路样品同步测试。

4. 内置专用测试序列

   出厂预存：体电阻率、表面电阻率、表面绝缘电阻 SIR、器件漏流、电容漏电、电压扫描击穿测试，一键启动标准化测试流程。

5. 电压反转算法

   交替极性加压测量，抵消绝缘材料表面电荷、接触电势带来的基线漂移，大幅提升超高阻材料长期测量稳定性。

三、完整技术参数指标（标准规格，18~28℃、1 年精度保证）

（一）电流测量（I）

1. 量程：100 fA ~ 20 mA，分 8 档；最小分辨率 10 aA

2. 输入偏置电流：＜3 fA（23℃典型），温度系数 0.5 fA/℃

3. 输入噪声：0.75 fA 峰峰值（量程）

4. 输入端压降（最小量程）：＜20 µV

5. 精度（代表量程，6½ 位、1PLC 滤波）：

• 1 nA 档：±(0.06% 读数 + 50 aA)

• 1 µA 档：±(0.04% 读数 + 4 pA)

• 1 mA 档：±(0.06% 读数 + 0.4 µA)

6. 带宽：前置输出典型 100kHz (-3dB)

（二）电压测量（V）

• 共模抑制 CMRR：直流＞120dB；50/60Hz＞120dB

• 常态模抑制 NMRR：2V/20V＞60dB；200V＞55dB

（三）电荷测量（Q）

• 2 nC 档精度：±(0.4% 读数 + 5 fC)

• 2 µC 档精度：±(0.4% 读数 + 5 pC)

• 电荷泄漏时间常数 RC 典型 300000，长时测量自动补偿漏电偏移

（四）电阻测量（R）

1. 测量区间：10 Ω ~ 10¹⁸ Ω

2. 测量方式：内置源表法（±1kV 内置电压源输出）、电压反转交替极性模式

3. 高阻模式自动切换：10¹²Ω 以上自动开启低电流、降噪滤波，适配绝缘薄膜、陶瓷、高分子材料

（五）内置可编程电压源

• 输出范围：±1000 V，连续可调，支持线性 / 阶梯电压扫描

• 步进精度：1 mV，可设定上升 / 保持 / 下降时序，用于击穿、耐压、漏流老化测试

• 输出电流：1 mA

（六）温湿度采集

• 标配 K 型热电偶输入：-25℃ ~ +150℃，精度 ±(0.3% 读数 + 1.5℃)

• 可选湿度探头：实时记录相对湿度，温湿度数据随读数同步存储

（七）采集与存储

• 读数速率：425 次 / 秒（内部缓存），400 次 / 秒（GPIB 上传）

• 内部缓存：50000 组读数，每组附带测量值、时间、温度、湿度

• 显示：5½/6½ 位数字 LED，同时显示主读数 + 温湿度 / 电阻率单位

（八）通讯接口

• 标准：IEEE488 GPIB（SCPI 协议）、RS-232 串口

• 扩展：主机插槽可选插卡，最多扩展 10 通道多路扫描测量

（九）环境与机械规格

1. 工作温度：0℃ ~ 50℃；校准参考温区 18~28℃

2. 存储温区：-20℃ ~ 70℃

3. 湿度：20%~80% RH（无凝露）

4. 尺寸：标准机架 1/2 机架，44mm 高 ×213mm 宽 ×348mm 深

5. 供电：100~240V AC 50/60Hz

四、典型应用领域

1. 材料科学

   高分子绝缘材料、陶瓷介质、纳米薄膜、复合材料体电阻率 (Ω・cm)、表面电阻率 (Ω/□)、SIR 表面绝缘电阻，符合 ASTM D257 标准测试；

2. 半导体与微电子

   MOS 器件栅极漏流、光电探测器暗电流、电容介质漏电、PCB 绝缘阻抗、芯片封装漏电；

3. 光电与光学

   光电二极管、光电倍增管微弱光电流、辐射剂量检测、光束微弱离子电流；

4. 电化学 / 生物测量

   高阻抗离子电极、pH 电极、生物细胞微弱离子通道电流；

5. 工业可靠性测试

   电缆绝缘耐压击穿、高压器件漏电流老化、绝缘材料高低温湿热可靠性测试；

6. 基础物理科研

   离子束、放射性微电流、静电电荷积累、超高阻抗介质电学表征。

五、配套标准配件

1. 8009 三电极电阻率测试夹具（ASTM D257 标配，测体 / 表面电阻）

2. 低噪声三同轴测试电缆（屏蔽保护端，降低外界干扰）

3. KickStart PC 软件：自动化电阻率、漏流扫描测试，数据导出绘图

4. 可选：多路扫描插卡、温湿度探头、高压测试治具

5.